1. Načítání
Umístěte potažený křemenný kelímek na teplosměnný stůl, přidejte křemíkovou surovinu, poté nainstalujte topné zařízení, izolační zařízení a kryt pece, evakuujte pec, abyste snížili tlak v peci na 0,05-0,1 mbar a udržujte vakuum. Zaveďte argon jako ochranný plyn, aby se tlak v peci udržoval v podstatě kolem 400-600 mbar.
2. Vytápění
K zahřátí tělesa pece použijte grafitový ohřívač, nejprve odpařte vlhkost adsorbovanou na povrchu grafitových dílů, izolační vrstvě, křemíkových surovinách atd., a poté pomalu zahřívejte, aby teplota křemenného kelímku dosáhla asi 1200-1300℃. Tento proces trvá 4-5h.
3. Tání
Zaveďte argon jako ochranný plyn, aby se tlak v peci udržoval v podstatě kolem 400-600 mbar. Postupně zvyšujte výkon ohřevu, abyste přizpůsobili teplotu v kelímku asi na 1500 °C℃a křemíková surovina se začne tavit. Nechte si asi 1500℃během procesu tavení, dokud není tavení dokončeno. Tento proces trvá asi 20-22 hodin.
4. Růst krystalů
Po roztavení křemíkové suroviny se výkon ohřevu sníží, aby teplota kelímku klesla na přibližně 1420-1440℃, což je teplota tání křemíku. Potom se křemenný kelímek postupně pohybuje dolů nebo izolační zařízení postupně stoupá, takže křemenný kelímek pomalu opouští ohřívací zónu a vytváří výměnu tepla s okolím; současně chladící deskou prochází voda pro snížení teploty taveniny ode dna a na dně se nejprve vytvoří krystalický křemík. Během procesu růstu zůstává rozhraní pevná látka-kapalina vždy rovnoběžné s horizontální rovinou, dokud není růst krystalů dokončen. Tento proces trvá asi 20-22 hodin.
5. Žíhání
Po dokončení růstu krystalu může v důsledku velkého teplotního gradientu mezi dnem a vrškem krystalu v ingotu existovat tepelné napětí, které se snadno znovu rozbije během ohřevu křemíkového plátku a přípravy baterie . Proto po dokončení růstu krystalů se křemíkový ingot udržuje v blízkosti bodu tání po dobu 2-4 hodin, aby se teplota křemíkového ingotu sjednotila a snížilo se tepelné namáhání.
6. Chlazení
Po vyžíhání křemíkového ingotu v peci vypněte topný výkon, zvedněte tepelně izolační zařízení nebo křemíkový ingot úplně spusťte a zaveďte do pece velký proud argonového plynu, aby se teplota křemíkového ingotu postupně snižovala na blízkou pokojová teplota; přitom tlak plynu v peci postupně stoupá, až dosáhne atmosférického tlaku. Tento proces trvá asi 10 hodin.
Čas odeslání: 20. září 2024
